Wkłady filtra proszkowego ze stali nierdzewnej o średnicy 5 mikronów z interfejsami 1/2" do magnetowidu
video
Wkłady filtra proszkowego ze stali nierdzewnej o średnicy 5 mikronów z interfejsami 1/2" do magnetowidu

Wkłady filtra proszkowego ze stali nierdzewnej o średnicy 5 mikronów z interfejsami 1/2" do magnetowidu

Materiał: proszek 316L
Rozmiar: φ40*196,3 mm
Precyzja filtra: 5 mikronów
Interfejs: VCR1/2"
Wyślij zapytanie
Wprowadzenie produktów

Wkłady filtrów proszkowych ze stali nierdzewnej z interfejsami VCR 1/2" to krytyczne komponenty w produkcji półprzewodników, zaprojektowane specjalnie dla systemów dystrybucji gazu-o wysokiej czystości. Wkłady te wykorzystują zaawansowaną technologię spiekania proszków metali, aby zapewnić precyzyjną filtrację i skutecznie wychwytywać cząstki o wielkości zaledwie 5 mikronów. Zapewnia to dostarczanie ultra-czystych gazów procesowych, które są niezbędne do utrzymania integralności wrażliwych procesów wytwarzania półprzewodników. Interfejs VCR 1/2" zapewnia uszczelnienie-metalu-z-odpornym na wycieki, spełniające rygorystyczne wymagania środowisk półprzewodnikowych, w których nawet drobne zanieczyszczenia gazowe mogą prowadzić do poważnych defektów w urządzeniach mikroelektronicznych. Ich solidna konstrukcja z-odpornej na korozję stali nierdzewnej gwarantuje trwałość i-długoterminową niezawodność w ekstremalnych warunkach.

 

W zastosowaniach półprzewodnikowych te wkłady filtracyjne odgrywają kluczową rolę w ochronie urządzeń końcowych, takich jak regulatory przepływu masowego i zawory precyzyjne, przed zanieczyszczeniem cząstkami stałymi. Dzięki płynnej integracji z istniejącymi-liniami gazu o wysokiej czystości upraszczają instalację i konserwację, minimalizując jednocześnie przestoje systemu. Połączenie wysokiej wydajności filtracji, wyjątkowej odporności chemicznej i niezawodnego uszczelnienia sprawia, że ​​są one niezbędne do zapewnienia stałej czystości gazu i wydajności operacyjnej w zaawansowanych zakładach produkujących półprzewodniki.

 

Specyfikacje produktów
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materiał: proszek 316L
Rozmiar: φ40*196,3 mm
Precyzja filtra: 5 mikronów
Interfejs: VCR1/2"
Techniczne: Spiekanie

Funkcje produktów
5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Ultrawysoka czystość i zatrzymywanie cząstek
- Konstrukcja ze spiekanej stali nierdzewnej (zwykle 316L) zapewnia czyste, całkowicie metalowe medium filtracyjne, bez spoiw, klejów i pozostałości organicznych.
- Możliwość zatrzymywania cząstek o wielkości submikronowej do 0,5 μm, zapobiegając przedostawaniu się mikrozanieczyszczeń do komór procesowych lub płytek.
- Brak wydzielania cząstek, co zapewnia stabilną liczbę cząstek podczas długotrwałego użytkowania.

 

2. Solidna stabilność mechaniczna i termiczna
- Całkowicie metalowa konstrukcja wytrzymuje wysokie ciśnienie, wysoką temperaturę i częste cykle termiczne.
- Zachowuje integralność mechaniczną w warunkach wibracji, przepływu wstecznego lub pulsacji-ciśnienia typowych dla systemów dystrybucji gazu.
- Kompatybilny z przewodami grzejnymi dla przewodów gazowych o wysokiej temperaturze.

 

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

 

3. Możliwość ponownego czyszczenia i regeneracji
- Elementy filtra można płukać wstecznie, czyścić ultradźwiękowo lub wypalać w próżni, co zapewnia długą żywotność w porównaniu z filtrami polimerowymi lub ceramicznymi.
- Typowy cykl życia jest 5–10 razy dłuższy niż w przypadku jednorazowych filtrów PTFE lub PVDF, co minimalizuje przestoje i całkowity koszt posiadania.

4. Kompatybilność chemiczna i odporność na korozję
- 316Stal nierdzewna L utrzymuje pasywną warstwę tlenkową w środowiskach chlorków, fluoru, amoniaku i kwaśnych gazów.
- Niereaktywna powierzchnia zapobiega ekstrakcji jonów metali lub zmianom składu gazu.

aplikacje

 

1. Linie dystrybucyjne gazu UHP
- Instalowany w płozach dostaw gazu luzem, szafach gazowych i panelach VMB/VMP, filtrujący cząstki, zanim gaz przedostanie się do MFC lub narzędzi procesowych.
- Stosowany w N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ i innych liniach gazowych o wysokiej czystości zasilających procesy krytyczne.

 

2. Zabezpieczenie wlotu kontrolera przepływu masowego (MFC).
- Zapobiega zanieczyszczeniu cząstkami stałymi i zużyciu zaworów w precyzyjnych regulatorach przepływu masowego.
- Poprawia długoterminową stabilność przepływu i spójność kalibracji MFC.

 

3. Komora procesowa i wloty gazu narzędziowego
- Zapewnia dostawę pozbawioną cząstek i wilgoci do pieców CVD, ALD, wytrawiających i dyfuzyjnych.
- Stosowany w liniach SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ i TEOS, gdzie czystość ma kluczowe znaczenie dla jakości i wydajności folii.

 

4. Instalacje gazów specjalnych i prekursorów
- Do gazów metaloorganicznych lub na bazie halogenów, gdzie kluczowa jest obojętność chemiczna i stabilność temperaturowa.
- Często umieszczane za parownikami lub bełkotkami w celu wychwytywania skondensowanych cząstek lub kropelek.

 

Skontaktuj się z nami
tel.png

Tel: 0917-3873009

phone.png

Telefon: +86 18992731201

fax.png

Faks: 0917-3873009

address.png

Adres: No. 195, Gaoxin Avenue,-strefa rozwoju zaawansowanych technologii, miasto Baoji, Shaanxi, Chiny

address.png

Whatsapp: +86 18992731201

Popularne Tagi: Wkłady filtrów proszkowych ze stali nierdzewnej o średnicy 5 mikronów z interfejsami vcr 1/2 ", Chiny, dostawcy, producenci, dostosowane, zastosowanie, cennik, na sprzedaż, w magazynie, bezpłatna próbka, materiał porowaty

(0/10)

clearall